亞律國際專利商標聯合事務所

本所代理之【實現大尺寸均勻沉積的微波電漿增強原子層沉積或微波電漿增強化學氣相沉積設備及其使用方法】專利申請案，成功克服官方意見

本所代理之【實現大尺寸均勻沉積的微波電漿增強原子層沉積或微波電漿增強化學氣相沉積設備及其使用方法】專利申請案，成功克服官方意見，獲准為第【I927883】號發明專利。